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公告概要：公告信息：采购项目名称清华大学XeF2干法释放刻蚀设备品目

货物/专用设备/电工、电子专用生产设备/电子工业专用生产设备

采购单位清华大学行政区域北京市公告时间2019年11月22日 19:26本项目招标公告日期2019年10月25日中标日期2019年11月22日评审专家名单谢 亮、刁宏伟、于中尧、蔡一茂（前述均为自选专家）、王 谦总中标金额￥158.000000 万元（人民币）联系人及联系方式：项目联系人李美珍，杨 晶项目联系电话62785713采购单位清华大学采购单位地址清华大学实验室与设备处老环境楼101C办公室采购单位联系方式联 系 人：李美珍 ，杨 晶；联系电话：62785713代理机构名称详见公告正文代理机构地址详见公告正文代理机构联系方式详见公告正文

“清华大学XeF2干法释放刻蚀设备”项目（项目编号：清设招第2019290号） 组织评标工作已经结束，现将评标结果公示如下：

 

一、项目信息

项目编号：清设招第2019290号

项目名称：清华大学XeF2干法释放刻蚀设备

项目联系人：李美珍，杨 晶

联系方式：62785713

 

二、采购单位信息

采购单位名称：清华大学

采购单位地址：清华大学实验室与设备处老环境楼101C办公室

采购单位联系方式：联 系 人：李美珍 ，杨 晶；联系电话：62785713

 

三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：

该刻蚀系统主要用干法技术进行各向同性的硅、锗或钼的蚀刻，主要用于MEMS领域的牺牲层释放，刻蚀保护层一般选择光刻胶、硅氧化物或铝。

 

四、中标信息

招标公告日期：2019年10月25日

中标日期：2019年11月22日

总中标金额：158.0 万元（人民币）

中标供应商名称、联系地址及中标金额：

中 标 人：慧创（北京）仪器设备有限公司         

地   址：北京市昌平区立汤路60号2栋3-101

中标金额：158万元人民币

本项目招标代理费总金额： 万元（人民币）

本项目招标代理费收费标准：

 

评标委员会成员名单：

谢 亮、刁宏伟、于中尧、蔡一茂（前述均为自选专家）、王 谦

 

中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：

XeF2干法释放刻蚀设备1套

 

五、其它补充事宜