性能特点

1. 低表面张力约 13.6 mN/m，渗透性强，可渗入狭缝盲孔，清除 PFPE 氟油、粉尘、轻度指纹油污；
2. 化学惰性佳，对氧化铝陶瓷、碳化硅、不锈钢、氟塑稳定，普通软胶、环氧涂层建议提前试样；
3. 绝缘性 ，可用于高压部件检漏、带电组件清洗、单相浸没散热；
4. 挥发彻底，无水印低 NVR，满足无尘车间洁净要求；
5. 环保合规，无臭氧层破坏风险，支持蒸馏循环回用。

应用领域

• 半导体：晶圆机械手氧化铝陶瓷叉指、FOUP、载具、MEMS 器件除氟油、颗粒；
• 光学、光通信：镜头、棱镜、基板镀膜前洁净处理；
• 新能源电子：储能电控、传感器绝缘清洗、气密性检漏；
• 配套用途：氟油 / 氟涂层稀释剂、功率器件浸没式冷却介质；
• 适用工艺：气相清洗、超声波浸泡、无尘擦拭。

理化指标

• 化学名称：甲基九氟异丁基醚（HFE-7100）
• CAS 号：163702-08-7
• 外观：无色透明液体
• 沸点：60℃
• 闪点：无
• ODP：0
• 密度（25℃）：1.52 g/cm³
• 表面张力：13.6 mN/m