清华大学电感耦合等离子体增强化学气相沉积(ICP-CVD) 采购项目公开招标公告

2026年07月07日 18:57 来源： 【打印】

公告概要：公告信息：采购项目名称清华大学电感耦合等离子体增强化学气相沉积(ICP-CVD) 采购项目品目

货物/设备/仪器仪表/其他仪器仪表

采购单位清华大学行政区域海淀区公告时间2026年07月07日 18:57获取招标文件时间2026年07月07日至2026年07月14日
每日上午:9:00 至 12:00下午:13:00 至 17:00（北京时间，法定节假日除外）招标文件售价￥100获取招标文件的地点北京市丰台区吴家村路57号华诚博远设计产业园一层或线上开标时间2026年07月29日 13:00开标地点北京市海淀区华业大厦一层二区采购管理中心第三会议室(清华大学东南门外路东，建设银行西侧进大厅往右前方20米左手边，无需入校。不提供临时来访停车，请提前规划时间)。预算金额￥300.000000万元（人民币）联系人及联系方式：项目联系人周满堂、程泽、黄佳、王雪、李莉项目联系电话010-81123510、010-81123506采购单位清华大学采购单位地址北京市海淀区清华园采购单位联系方式010-62780051代理机构名称华诚博远工程咨询有限公司代理机构地址北京市丰台区吴家村路57号华诚博远设计产业园代理机构联系方式周满堂、程泽、黄佳、王雪、李莉010-81123510、010-81123506附件：附件1【招标文件领取登记表】清华大学电感耦合等离子体增强化学气相沉积(ICP-CVD) 采购项目.doc

项目概况 清华大学电感耦合等离子体增强化学气相沉积(ICP-CVD) 采购项目 招标项目的潜在投标人应在北京市丰台区吴家村路57号华诚博远设计产业园一层或线上获取招标文件，并于2026年07月29日 13点00分（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：清采招第20260231号

项目名称：清华大学电感耦合等离子体增强化学气相沉积(ICP-CVD) 采购项目

预算金额：300.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：296.000000 万元（人民币）

采购需求：

包号

标的名称

采购包

预算金额

（万元）

数量

是否允许进口产品投标

01

电感耦合等离子体增强化学气相沉积（ICP-CVD）

300

1套

是

简要技术需求：

01包：电感耦合等离子体增强化学气相沉积(ICP-CVD)是集成电路、微纳加工常用的、必备的薄膜沉积工具。通过高频电源，将反应气体电离成等离子体进行沉积，主要用于沉积氧化硅、氮化硅、非晶硅等薄膜，ICP-CVD的主要反应气体为SiH4、NH3、N2O等，沉积温度一般低于200℃等，具体详见采购需求。

■注：投标人必须针对本项目所有内容进行投标，不允许拆分投标。

合同履行期限：合同签订后8个月内交付。合同货物整体质量保证期为验收合格之日起不少于12个月。

本项目(不接受 )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

2.1 中小企业政策

■本项目不专门面向中小企业预留采购份额。

2.2通过 信用中国 网站（www.creditchina.gov.cn）和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）查询信用记录，被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动。

2.3单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包的采购活动。

2.4为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的其他采购活动。

3.本项目的特定资格要求：无。

三、获取招标文件

时间：2026年07月07日 至2026年07月14日，每天上午9:00至12:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）

地点：北京市丰台区吴家村路57号华诚博远设计产业园一层或线上

方式：现场领取：须携带法人代表授权委托书原件及被授权人身份证复印件（以上资料均须加盖投标单位公章）。线上领取：线上领取招标文件时须将法人代表授权委托书原件、被授权人身份证复印件（以上资料均须加盖投标单位公章）彩色扫描件以及《招标文件领取登记表》以PDF形式发至邮箱 hcby03@126.com，邮件主题为“项目名称+潜在供应商名称”，邮件正文写明潜在供应商联系人和电话。《招标文件领取登记表》详见公告附件。

售价：￥100.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：2026年07月29日 13点00分（北京时间）

开标时间：2026年07月29日 13点00分（北京时间）

地点：北京市海淀区华业大厦一层二区采购管理中心第三会议室(清华大学东南门外路东，建设银行西侧进大厅往右前方20米左手边，无需入校。不提供临时来访停车，请提前规划时间)。

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

1.本项目需要落实的政府采购政策：节约能源、保护环境、促进中小企业及监狱企业发展、促进残疾人就业、支持乡村产业振兴、政府采购本国产品标准及相关政策，政府采购政策具体落实情况详见招标文件。

2.本项目的公告发布媒介：仅在中国政府采购网和清华大学采购信息发布平台发布。对其他网站转发本公告可能引起的信息误导、造成供应商的经济或其他损失的，采购人及采购代理不负任何责任。

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：清华大学

地址：北京市海淀区清华园

联系方式：010-62780051

2.采购代理机构信息

名 称：华诚博远工程咨询有限公司

地 址：北京市丰台区吴家村路57号华诚博远设计产业园

联系方式：周满堂、程泽、黄佳、王雪、李莉010-81123510、010-81123506

3.项目联系方式

项目联系人：周满堂、程泽、黄佳、王雪、李莉

电 话： 010-81123510、010-81123506