三聚体 高纯氟化溶剂 氟油稀释剂 带电部件清洗 浸没冷却介质

性能特点

1. 极低表面张力约 15mN/m，渗透性强，可渗入盲孔、微缝隙、MEMS 微小结构，剥离氟油、氟脂、细微颗粒污染；
2. 化学惰性极强，对高纯氧化铝陶瓷、SiC 陶瓷、不锈钢、铝、铜稳定；PTFE、PFA、FKM 氟橡胶兼容性 ；普通软胶、环氧粘接胶、大部分塑料建议提前试样；
3. 绝缘性能优异，介电强度高，可用于高压带电组件清洗、气密性检漏、单相浸没式散热；
4. 沸点高、挥发慢，常温损耗远低于二聚体，适合需要浸泡长时间作业、低温液冷工况；挥发后无水印、离子残留低，NVR 洁净度满足半导体、光学要求；
5. 环保合规，无臭氧层破坏风险，可循环蒸馏回用，EHS 管控压力小。

应用领域

• 半导体行业：晶圆传输陶瓷叉指、FOUP、载具、陶瓷治具，去除 PFPE 氟油、氟脂、颗粒污染物；MEMS、光器件清洗；
• 氟材料行业：全氟聚醚油 PFPE、氟硅脂、AF 防指纹涂层、氟素三防漆稀释溶剂；
• 新能源 / 数据中心：储能电控、服务器单相浸没式液冷、高压零部件绝缘检漏；
• 光学行业：镜头、棱镜、玻璃基板镀膜前除氟油、除尘；
• 工艺方式：超声波浸泡、无尘擦拭、检漏、液冷导热

理化指标

• 化学名称：六氟丙烯三聚体
• CAS 号：6792-31-0
• 分子式：C₉F₁₈
• 外观：无色透明液体，低气味
• 沸点：110~115℃
• 闪点：无（不可燃）
• 纯度：≥99.0%
• ODP：0
• 密度（25℃）：1.83 g/cm³
• 表面张力：15 mN/m
• 介电强度：40kV
• 倾点：-68℃，低温流动性好
• 适用工艺：超声浸泡、手擦、检漏、浸没液冷，支持蒸馏再生